X射线光电子能谱（XPS）

介绍

X射线光电子能谱（XPS）是分析物质表面化学性质的一项技术，也作为电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学态和电子态，常常和俄歇电子能谱（AES）配合使用。

由于他可以比俄歇电子能谱技术更准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。

优势

1.因为入射到样品表面的X射线束是一种光子束，所以对样品的破坏性非常小，这一点对分析有机材料和高分子材料非常有利。

2.它在分析电子材料时，不但可提供总体方面的化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面的信息。

应用

XPS在各类功能薄膜的机理研究、纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面广泛应用。结合其它表征技术，可以对腐蚀、催化、包覆、氧化等过程进行研究。

样品要求

1.样品物性/外形/尺寸：导体、半导体和绝缘体均可以。对绝缘体只适合粉末、薄膜、薄片，不适合块体。半导体和绝缘体片状样品：厚度1毫米以内；

2.导体片状样品：厚度小于3 mm；长×宽的尺度范围：6 mm×6mm 到10 mm×1 mm以内；

3.粉末样品：重量在30 mg左右，体积大于0.2 ml；如果需要压片时（有利于做定量分析），送样量(体积)应适当增加到0.75-1 ml。样品要充分干燥，粉末尽量研细，样品无磁性、无腐蚀性；

4.对于块状（不规则形状时）样品：需要送样人将样品加工成片状，上下两面最好互为平行面；

5.不能检测放射性样品。

结果展示